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“DFB激光器及相关集成芯片”成果介绍

发布时间:2011-11-17 阅读次数:0

1.项目背景 

目前的光通信接入技术以XPON(EPON/GPON)为主要方式,全球XPON设备的市场规模为每年有40亿美元的增量。特别是中国光通信市场受移动互联网、三网融合等新型应用对于带宽需求推动,开始进入高速成长期。由于中国光通信网络投资额高、建设规模大、建设计划明确,未来将持续快速增长。

光通信市场需求高涨也带来了对上游芯片产品的需求。在全球光通信市场快速增长的情况下,中国光通信系统设备企业、光器件制造商在全球的地位都快速提升,然而对于处于技术核心的芯片产品,整体上仍高度依赖进口。随着系统设备企业和光器件制造商的逐渐壮大,一些实力较强的企业将加速向上游芯片领域的突破。

DFB激光器、电吸收调制器DFB激光器(EML)、宽带可调谐激光器等芯片是GPON光模块中的核心芯片,目前中国国内通讯设备公司尚未掌握相关技术或形成规模生产能力。其关键技术被国外少数几个生产厂家控制,中国光通信企业对光模块和核心芯片具有较强的需求。

2.现状分析

从2010 年开始,中国光通信网络建设转向大规模的接入网络升级,三大电信运营商FTTx的集采量合计约2000万线。2011年中国电信FTTx的集采量为1900万线,中国联通紧随其后。按照广电局规划,有线电视运营商在2011 年中开始进行网络改造,也将大量采购PON设备。中国光通信设备产业近年来一直保持30%以上的增长速度。在光纤接入网络建设中,接入系统设备占总体投资的50%以上。

光电子器件是光网络中的核心部件,光器件成本占光通信设备成本的25%-30%。中国本土光电器件厂商缺少核心技术和自主品牌,核心光器件需要从国外进口。

DFB激光器芯片的关键量产技术主要由少数发达国家控制,例如日本、美国、欧洲,且对该技术封锁严密,没有一家国外公司在中国设立工厂生产。国内部分研究机构、大学和公司虽然有DFB芯片制备技术,但是都没有实现大规模量产。中国科学院半导体研究所在1988年研制成功中国第一支DFB芯片,打破了国外的垄断,已经实现实验室小批量生产;在国家863计划的支持下,课题组已经研制出10-40Gb/s的电吸收调制的DFB激光器,以及波长调谐范围达40  nm的可调谐激光器,具备了进行技术转化的技术基础。

3.主要成果介绍

中科院半导体所材料重点实验室DFB课题组在1988年研制成功国内首批1.3微米、1.55微米动态单频分布反馈(DFB)激光器;九十年代,利用MOCVD技术在国内首先研制成功应变量子阱1.55微米DFB激光器。目前1.3微米和1.55微米的DFB激光器调制频率可以达到28GHz,EML的调制频率可以达到31GHz,宽带可调谐激光器的的调谐范围可以达到40nm。已经持有的激光器及其集成芯片关键技术情况如下:

1.        一次外延片结构设计及生长。包括量子阱激光器、电吸收调制器和光电探测器结构设计,量子阱材料的生长及检测,光栅层材料的设计、生长、掺杂及检测。

2.        全息曝光系统设施及配置,全息光栅制备。包括光栅光刻胶膜的配制,光栅的刻蚀技术,光栅判定调整技术。

3.        二次外延结构设计及生长。包括光栅掩埋生长技术,非平面生长技术,材料带隙过渡技术,刻蚀终止层生长技术,表面InGaAs层重掺杂技术。

4.        微米级器件加工技术。包括普通光刻、套刻、自对准套刻技术,湿法和干法刻蚀技术。

5.        其他技术。包括芯片划片解理,腔面镀膜设计,管芯封装技术,热沉设计,光隔离设计,尾纤与光源耦合技术,老化筛选技术。

6.        光电子器件的单片集成技术。包括选区外延生长,量子阱混杂,对接生长,取样光栅制作技术等。

4.激光器芯片的产业化应用实例

为了提高我国光电技术高科技产业的开发水平,加快863计划信息领域重大研究项目长波长 DFB半导体激光器项目的产业化.中国科学院半导体研究所与北京航星网讯技术股份有限公司在2010年签订激光探测甲烷气体专有技术转让合作协议。同年中国科学院半导体研究所-北京航星网讯技术股份有限公司签订联合实验室的协议,决定成立中国科学院半导体研究所-北京航星网讯技术股份有限公司联合实验室(下称实验室),开展进一步人才、技术和项目合作。

北京航星网讯技术股份有限公司在中科院半导体所的技术基础上,联合中科院的科研力量,已经开发了两代激光甲烷泄漏检测产品,并得到了国家科技部支撑计划的资助,目前产品已经通过国家相关部门的防爆、计量等认证,正在积极联系石油石化、城市天然气等领域的应用。

北京航星网讯技术股份有限公司以此技术为主要亮点,2011年8月在深圳证交所新三板成功上市(430095),公司下一步将募集资金,重点发展激光甲烷泄漏检测技术。根据2011年6月补充签订的协议,中科院半导体所为该公司未来十年的战略合作伙伴。

联系人:  潘教青    jqpan@semi.ac.cn