科研项目
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科学院创新工程重要方向项目、装备研制

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1、大直径半导体单晶空间生长 (主持)

2、GaN HEMT结构外延材料研究 (主持)

3、氮化镓专用复合型MOCVD-HVPE生长设备(主持)

4、大面积/多片高温SiC CVD沉积系统研制 (主持)

5、立方氮化硼薄膜与有序排列半导体纳米结构 (主持)