为满足科研工作需要，更好地完成承担的国家科研任务，提高实验室仪器设备的开放共享率，促进交流合作，半导体材料科学重点实验室根据科研任务需要，及实验室现有仪器设备资源，成立“半导体材料高端制造与表征平台”，平台由实验室主任负责。
“半导体材料高端制造与表征平台”主要的工艺设备有MOCVD材料生长设备，MBE材料生长设备，PECVD, 光刻机，蒸发台，磁控溅射，台阶仪，电化学CV, 光致发光，霍尔测量等。每台设备都有专人负责维护运行, 平台共拥有相关技术工艺人员有50余人, 详细见附件1。
平台的经费管理严格执行《半导体所内部科研协作管理办法》，各项测试加工工艺按平台的收费标准执行，收费标准见附件2。
委托平台进行材料生长或测试的课题，必须与实验室签订科研协作协议，由实验室主任和课题负责人签字生效。测试报告或实验记录必须有实验人签字确认，保证所有测试加工的真实性，合法性和必要性。
所内科研协作转账原则上应在协作完成后一个季度内办理，办理时必须提供：（1） 课题任务书或合同书的封面及其中有相应预算内容的复印件（各2份）；
（2）委托测试加工合同或协议（实验室统一模板，一式三份）；
（3）实验记录或测试报告复印件二份，实验人签字；
（4）验收单: 课题负责人和验收人签字；
（5）内部收据（实验室统一开具）。
本管理办法自2015-7-1开始执行，如有与研究所制定的管理办法不一致时，从研究所办法。
半导体材料科学重点实验室
2015-7-1