分子束外延生长系统（MBE）

InP基多层结构

基准费2000元, 8000元/小时

基准费4000元, 10000元/小时

刘峰奇

分子束外延生长系统（MBE）

GaAs基多层结构

基准费2000元, 5000元/小时

基准费4000元, 10000元/小时

刘峰奇

掩膜对准曝光机

光刻

500元/片

1000元/片

梁平 胡颖

表面轮廓测量系统

测量刻蚀深度

基准费100元，100元/点

基准费200元，200元/点

梁平 胡颖

双腔室PECVD/电子束蒸发镀膜

SiO2 /Si3N4绝缘层生长

500元/片，常规厚度350nm，每增加50nm收费100元，每增加1片加收500元

1000元/片，常规厚度350nm，每增加50nm收费200元，每增加1片加收800元

梁平 胡颖

双腔室PECVD/电子束蒸发镀膜

电子束蒸发 (Ti/Au)

3500元/片, 常规厚度250nm，每增加50nm收费800元；每增加1片加收800元

7000元/片, 常规厚度250nm，每增加50nm收费1600元；每增加1片加收1600元

梁平 胡颖

双腔室PECVD/电子束蒸发镀膜

腔面高反膜电子束蒸发(Au、Ti、Ge、Ni、Al2O3)

3500元/片

7000元/片

常规厚度100nm

梁平 胡颖

真空蒸发台（In）

蒸镀In

4000元/片, 常规厚度1um，每增加1um收费1000元

8000元/片, 常规厚度1um，每增加1um收费2000元

梁平 胡颖

真空蒸发台

金属热蒸发(AuGeNi/Au)

3500元/片, 常规厚度400nm，每增加50nm收费800元；每加1片收费800元

7000元/片, 常规厚度400nm，每增加50nm收费1600元；每加1片收费1600元

梁平 胡颖

等离子体去胶机

等离子去胶

100/次

200元/次

梁平 胡颖

精密研磨抛光系统

减薄抛光

300元/样品

3000元/样品

梁平 胡颖

快速热处理设备

背电极合金

500元/次

1000元/次

梁平 胡颖

奥林巴斯MX51高分辨光学显微镜

拍摄高分辨光学显微图像，分辨率优于1微米

200元/片

400元/片

梁平 胡颖

清洁处理湿法腐蚀

样片清洁，光刻胶去除，氧化硅/氧化层去除，显影

单次工艺收取400元/片

单次工艺收取800元/片

梁平 胡颖

金丝球焊机

管芯烧结

电镀铟200/每次，解理、压焊、金丝、引线共100元/个

电镀铟400/每次，解理、压焊、金丝、引线共200元/个

梁平 胡颖

高精度粘片机

高精度烧结、键合

基准费：200元，甲酸处理：200元/次。贴片烧结200元/个。

基准费：800元，甲酸处理：400元/次。贴片烧结400元/个。

梁平 胡颖

技术服务费

免费

串线费：1000元/片

加工费总额的10～20%收取

梁平 胡颖

特殊工艺加工

按常规工艺的50～200%收取

按常规工艺的50～200%收取

刘俊岐

傅立叶变换远红外光谱仪Bruker E55

光荧光测试（室温）

基准费300元，150元/谱

基准费300元，300元/谱

王利军

光荧光测试（低温）

基准费600元，250元/谱

基准费600元，500元/谱

傅立叶变换远红外光谱仪Bruker V70

变温红外发射谱测试

基准费300元，150元/谱

基准费300元，300元/谱

王利军

变温光电流谱

基准费300元，150元/谱

基准费300元，300元/谱

拉曼光谱仪

微区Raman光谱

基准费300元，400元/测试点

基准费300元，800元/测试点

刘舒曼

原子力显微镜

AFM形貌

基准费300元，200元/样品

基准费300元，400元/样品

刘舒曼

原子力显微镜

AFM电学扫描

基准费100元，800元/样品

基准费100元，1600元/样品

刘俊岐

数字源表（吉时利2601）

I-V特性测试

200元/线

400元/线

刘舒曼

电化学CV测试系统

载流子浓度测试

基准费500元，200元/小时

基准费500元，400元/小时

MOCVD

选择外延

特殊条件另议

张瑞康，王伟

量子阱生长

2万元/片

3万元/片

依照结构、厚度以及数量定

接触外延

3万元/片

4万元/片

依照结构、厚度以及数量定

ICP

InP/GaAs刻蚀

刻蚀深度<1μm时500元。每增加1μm，加100元

刻蚀深度<1μm时1000元。每增加1μm，加200元

开机费500元

周代兵

PECVD

SiO2

40元/100nm

80元/100nm

开机费500元

安欣

SiN

150元/100nm

300元/100nm

光刻机

光刻

500元/片

1000元/片

开机费300元

王宝军

蒸发台

AuGeNi

1500元/100nm

3000元/100nm

开机费500元

王皓

磁控溅射

Ti/Au

1500元/100nmAu

3000元/100nmAu

开机费500元

周代兵

反应离子刻蚀设备

刻蚀

刻蚀深度<1μm时500元。每增加1μm，加100元

刻蚀深度<1μm时500元。每增加1μm，加100元

开机费500元

周代兵

台式扫描电子显微镜

测试

300元/小时

600元/小时

开机费300元

黄永光

Maping

PL测试

500元/片

1000元/片

开机费300元

周旭亮

微区荧光光谱仪

PL测试

500元/片

1000元/片

开机费300元

X射线双晶衍射

X射线衍射

周旭亮

高分辨XRD测试系统

ω/2θ扫描、摇摆曲线扫描、In-plane扫描

200元/片

400元/片

开机费300元

周旭亮

倒格矢扫描

200元/小时

400元/小时

周旭亮

解理

50元/只

100元/只

边静，安欣

烧结机

加工

100元/次（自带）

100元/次（自带）

开机费200元

边静，安欣

200元/只（镀铟）

200元/只（镀铟）

200元/只（微带）

200元/只（微带）

镀铟

加工

电镀铟200/每次；处理200元/每次

电镀铟400/每次；处理400元/每次

管芯测试设备

PIV

50元/只.单参数

50元/只.单参数

边静，安欣

激光加工机

划片打孔打标

每个孔或者每条线10元

每个孔或者每条线10元，量大协商

300元开机费

黄永光

单项测试项目

探针座+探针

100元/小时

陆丹

变温测试

200元/小时

陆丹

频谱仪

200元

200元/小时

陆丹

小信号测试

矢量网络分析测试

纯线缆

200元

450元/小时

陆丹

探针

400元

600元/小时

陆丹

变温+探针

500元

650元/小时

陆丹

脉冲测试

自相关仪脉冲宽度测试

光纤接口

100元

300元/小时

陆丹

空间光路+探针台

200元

400元/小时

陆丹

FROG

光纤接口

100元

350元/小时

陆丹

空间光路+探针台

200元

450元/小时

陆丹

直流测试

激光线宽测试

光纤接口

100元

400元/小时

陆丹

空间光路+探针台

200元

500元/小时

陆丹

Rin测试

光纤接口

100元

300元/小时

陆丹

空间光路+探针台

200元

400元/小时

陆丹

远场测试

100元

200元/小时

陆丹

PIV测试

探针台+积分球

100元

300元/小时

陆丹

无源测试

传输损耗测量

探针台+光纤对准

300元

400元/小时

陆丹

反射、透射、吸收光谱测试

光纤光谱仪

积分球+光源+光谱仪

200元

400元/小时

黄永光

MOCVD设备#1

2英寸GaN基材料外延

15000元/炉

20000元/炉

特殊条件另议

刘宏新

MOCVD设备#2

3英寸及以上尺寸GaN基材料外延

30000元/炉

40000元/炉

特殊条件另议

姜丽娟

变温霍尔测试系统

室温测试

300元/样品

500元/样品

开机费200元/次

冯春

低温变温（4.3K—300K）

500元/小时

800元/小时

冯春

高温变温（300K—800K）

500元/小时

800元/小时

冯春

室温变场（0-1.3T）

500元/小时

800元/小时

冯春

非接触方块电阻测试系统

标准55点方块电阻测试

500元/片

800元/片

冯春

其他分布测试

600元/片

1000元/片

冯春

台阶仪

二维台阶高度扫描

100元/样品

200元/样品

开机费200元/次

肖红领

二维应力

200元/样品

400元/样品

三维台阶扫描

500元/样品

800元/样品

表面平整度测试系统

弯曲度、翘曲度、总厚度变化测试

500元/片

1000元/片

开机费200元/次

冯春

光学显微镜

显微镜观测

200元/小时

400元/小时

冯春

高分辨XRD测试系统

ω/2θ扫描、摇摆曲线扫描、In-plane扫描、

200元/片

400元/片

冯春

倒格矢扫描

200元/小时

400元/小时

冯春

光电效率测试系统

光电效率测试

400元/片

500元/片

冯春

高温恒温箱

室温-300℃恒温贮存

400元/小时

600元/小时

冯春

快速退火炉

0~500度，时间小于5分钟

100元/片

200元/片

升温速度等特殊要求的另议

肖红领

500~1000度，时间小于5分钟

150元/片

300元/片

1000~1300度，时间小于5分钟

200元/片

400元/片

磁控溅射

Ti金属沉积

200元/100nm

400元/100nm

开机费500元/批

肖红领

Al金属沉积

100元/100nm

200元/100nm

Ni金属沉积

200元/100nm

400元/100nm

Au金属沉积

250元/100nm

500元/100nm

PECVD

SiON沉积

200元/100nm

400元/100nm

开机费500元/批

肖红领

SiN沉积

150元/100nm

300元/100nm

SiO2沉积

40元/100nm

80元/100nm

ICP

SiO2/SiN/SiON刻蚀

刻蚀深度<500nm时300元。每增加1um，加100元

刻蚀深度<500nm时500元。每增加1um，加100元

开机费500元/批

肖红领

GaN/AlGaN刻蚀

刻蚀深度<500nm时300元。每增加200nm，加100元

刻蚀深度<500nm时500元。每增加200nm，加100元

InP/GaAs刻蚀

刻蚀深度<2μm时300元。每增加1μm，加100元

刻蚀深度<2μm时500元。每增加1μm，加100元

光刻系统

2寸以下基片光刻

100元/片。反转胶增加50元/片

200元/片。反转胶增加50元/片

开机费500元/批

肖红领

3寸基片光刻

200元/片。反转胶增加100元/片

400元/片。反转胶增加100元/片

4寸基片光刻

250元/片。反转胶增加200元/片

500元/片。反转胶增加200元/片

1~3um线宽、10*10mm2以下，或单边宽度小于10mm基片

200元/片

400元/片

等离子去胶

250元/次

400元/次

磁控溅射

薄膜样品生长

1500元/样品

2000元/样品

另收开机费500元/次，特殊要求价格面议

尹志岗、吴金良

离子束溅射

薄膜样品生长

2000元/样品

2500元/样品

另收开机费500元/次，特殊要求价格面议

尹志岗、吴金良

CVD系统

薄膜样品生长

1500元/样品

2000元/样品

另收开机费500元/次，特殊要求价格面议

尹志岗、吴金良

旋涂机、热板、快速退火

二维材料转移

1000元/样品

1500元/样品

特殊要求价格面议

碳化硅外延设备

碳化硅外延

400元/微米

500元/微米

最大尺寸6英寸； 外延不包含衬底费用；退火最高温度1750℃，H2/ Ar/ N2气氛；特殊条件另议

赵万顺、王雷；Tel：010-82304101

高温退火

2500元/小时

3000元/小时

石墨烯生长

3000元/炉

4000元/炉

原子层沉积

氧化物生长

200元开机费，10元/纳米

400元开机费，20元/纳米

特殊条件另议

分子束外延

GaAs基外延生长

3000元/um

4000元/um

多层结构根据结构复杂性商定

王保强、朱战平；Tel：010-82304450

InP基外延生长

4000/um

5000/um

低压液氮灌装

液氮灌装

5.5元/L

7元/L

王欣；Tel：010-82304450

石墨烯外延炉

（G-RF-CVD-100）

常规金属衬底石墨烯生长

1000元/4英寸

2000元/4英寸

特殊条件另议

刘兴昉、赵万顺、王雷；Tel：010-82304101

SiC、蓝宝石衬底石墨烯生长

2000元/2英寸

3000元/2英寸

特殊条件另议

Si、SiO2、SiNx衬底石墨烯生长

1000元/4英寸

2000元/4英寸

特殊条件另议

分子束外延设备CBE

有机薄膜沉积

800元/片

1000元/片

特殊条件另议

关敏

Tel:82304101

OLED器件

1500元/片

2000元/片

分子束外延

II-VI族（ZnTe、CdTe、CdSe、ZnSe）外延

所内8折优惠

3000元/片

特殊条件另议

刘超 崔利杰

Tel:82304101

快速热退火炉

快速热退火

所内8折优惠

300元/片

特殊条件另议

退火炉

室温-450℃退火（氮气气氛）

50/样品

60/样品

特殊条件另议

刘超 崔利杰

Tel:82304101

MOCVD

（自建设备）

薄膜材料生长

基准费2000元，1000元/小时

基准费2000元，2000元/小时

特殊条件另议

李辉杰，杨少延，魏鸿源

器件结构生长

基准费2000元，1500元/小时

基准费2000元，3000元/小时

纳米结构生长

基准费2000元，1000元/小时

基准费2000元，1000元/小时

HVPE

（自建设备）

GaN厚膜生长

基准费2000元，1000元/小时

基准费2000元，2000元/小时

特殊条件另议

李辉杰，杨少延，魏鸿源

AlN厚膜生长

基准费2000元，1500元/小时

基准费2000元，3000元/小时

纳米结构生长

基准费2000元，1000元/小时

基准费2000元，2000元/小时

MOCVD

（进口设备）

薄膜材料生长

基准费3000元，2000元/小时

基准费3000元，4000元/小时

特殊条件另议

汪连山，李辉杰

器件结构生长

基准费3000元，3000元/小时

基准费3000元，6000元/小时

纳米结构生长

基准费3000元，2000元/小时

基准费3000元，4000元/小时

快速退火炉

800℃以下退火

300元/样品

600元/样品

特殊条件另议

李辉杰，杨少延，魏鸿源

800℃以上退火

500元/样品

1000元/样品

真空烘烤

1000℃以下烘烤

500元/小时

1000元/小时

特殊条件另议

李辉杰，杨少延，魏鸿源

1000℃以上烘烤

800元/小时

1600元/小时

MBE （Riber C21T）

GaAs、InP基材料外延生长

5000元＋, 2000元/小时

5000元＋, 2000元/小时

特殊结构另行计费

金鹏

MP-CVD （AX5250）

单晶金刚石生长（同质）

5000元＋, 2000元/小时

5000元＋, 2000元/小时

（1）p型掺杂样品另外增加500元/小时;（2）n型掺杂样品另外增加1000元/小时;（3）单晶生长的衬底依据尺寸需另行计费

金鹏

多晶金刚石生长（Si衬底）

2000元＋, 1500元/小时

3000元＋, 2000元/小时

MP-CVD （AX6500）

单晶金刚石生长（同质）

5000元＋, 2000元/小时

5000元＋, 2000元/小时

（1）p型掺杂样品另外增加600元/小时;（2）n型掺杂样品另外增加1200元/小时;（3）单晶生长的衬底依据尺寸需另行计费

金鹏

多晶金刚石生长（Si衬底）

2000元＋, 1500元/小时

3000元＋, 2000元/小时

阻蒸电子束蒸发联合镀膜机

蒸发Al，Ag

开机费500元，100nm以内400元，每加100nm加200元

开机费900元，100nm以内600元，每100nm加200元

特殊条件另议

曲胜春，王智杰，刘孔

蒸发Au

开机费600元，100nm以内2000元，每加100nm加1000元

开机费900元，100nm以内3000元，每加100nm加1500元

特殊条件另议

Ca,MoO3,ZnS,TiO2等

开机费600元，10nm以内300元，每加10nm加200元

开机费900元，10nm以内600元，每10nm加400元

特殊条件另议

箱式退火炉

热退火，烧结

500℃以内200 元，每增加50℃加50元。

500℃以内400 元，每增加50℃加100元。

特殊条件另议

曲胜春，王智杰，刘孔

低维材料生长、器件制备平台

低维材料生长、加工、及器件制备

量子点200元/样品；

量子线200元/样品；

光电器件300元/样品

量子点400元/样品；

量子线400元/样品；

光电器件600元/样品

特殊条件另议

曲胜春，王智杰，刘孔

AIXTRON 3*2 FT CS16810

生长GaAs、InP系材料

1500（开机）+ 3000/小时

3000（开机）+5000/小时

特殊条件另议

杨涛，杨晓光、吕尊仁

分子束外延设备MBE（Veeco Gen II）

GaSb基多层结构

基准费2000元, 6000元/小时

基准费4000元, 10000元/小时

特殊条件另议

马文全，张艳华，黄建亮

InAs基多层结构

基准费2000元, 6000元/小时

基准费4000元,8000元/小时

特殊条件另议

InP基多层结构

基准费2000元, 7000元/小时

基准费4000元, 10000元/小时

特殊条件另议

GaAs基多层结构

基准费2000元, 5000元/小时

基准费4000元, 8000元/小时

特殊条件另议

MBE（RIBER 32P）

GaAs、(Al)GaAs、(In)GaAs研究材料

1000元/小时

1500元/小时

包括准备时间；特殊条件另议

徐波

微电子、光电子器件材料

1500元/小时

2250元/小时

包括准备时间；特殊条件另议

MBE（RIBER Compact 21 III-V）

GaAs、(Al)GaAs、(In)GaAs研究材料

1000元/小时

1500元/小时

包括准备时间；特殊条件另议

徐波，吕尊仁、杨晓光

微电子、光电子器件材料

1500元/小时

2250元/小时

包括准备时间；特殊条件另议

原子力显微镜

形貌测试

400元/小时

500元/小时

另收开机费100元/次

尹志岗、吴金良

CAFM、PFM、KFM、MFM、EFM等多通道高级模式

1000元/小时

1500元/小时

尹志岗、吴金良

傅里叶红外光谱

透射反射测试

400元/小时

500元/小时

另收开机费100元/次

尹志岗、吴金良

量子效率测试

电池量子效率

300元/样品

400元/样品

另收开机费100元/次

尹志岗、吴金良

电池I-V测试

电池I-V测试

200元/样品

300元/样品

另收开机费100元/次

尹志岗、吴金良

霍尔测试仪

室温霍尔测试

150/样品

200/样品

单次样品测试收费最低200元/次；

另外，样品做氮气氛快速热退火处理+50元/次，低温液氮费+50元/次

刘超：82304101

双温霍尔测试   （300K+77K）

300/样品

400/样品

低温变温霍尔测试（80K—300K）

2000/样品

2500/样品

高温变温霍尔测试（300K—700K）

2000/样品

2500/样品

探针台

I-V测试

100/样品

150/样品

四探针测试仪

四探针测试

100/样品

150/样品

光栅光谱仪

光吸收测试

150/样品

200/样品

光电导测试

150/样品

200/样品

变温测试台

热激电流测试

500/样品

600/样品

热释发光测试

500/样品

600/样品

变温电阻率测试

250/样品

300/样品

安捷伦B1505A

半导体参数测试仪3000V、500A

电学IV，CV测试

240元/小时

300元/小时

另收开机费200元/次，不足1小时按1小时计算。特殊要求价格面议

申占伟Tel：010-82304101

高压测试(3000V)

600元/小时

800元/小时

MOS可靠性测试

240元/小时

300元/小时

德国Phystech公司HERA-DLTS深能级缺陷测量系统

DLTS测试

2000元/样品

2500元/样品

特殊要求价格面议

闫果果

82304232

霍尔测试

室温测试

200元/样品

400元/样品

特殊条件另议

李辉杰，杨少延，魏鸿源

低温测试

400元/样品

800元/样品

深紫外光致发光光谱

室温稳态

1000元+,

300元/条

1000元+,

500元/条

需对样品进行处理（如腐蚀）的另行计费。

金鹏，冯梦阳

室温瞬态

1000元+,

1500元/条

1000元+,

2000元/条

低温稳态

1500元+,

500元/条

1500元+,

1000元/条

低温瞬态

1500元+,

1500元/条

1500元+,

2000元/条

阴极荧光光谱

室温

1000元+,

300元/条

1000元+,

500元/条

金鹏，冯梦阳

低温

1500元+,

500元/条

1500元+,

1000元/条

近紫外－可见－近红外光致发光光谱

室温

300元+,

300元/条

300元+,

500元/条

金鹏

低温

600元+,

500元/条

600元+,

800元/条

变温霍尔

室温

400元+,

300元/个

400元+,

500元/个

孙红，金鹏

低温

600元+,

500元/条

600元+,

800元/条

半导体发光器件测试 （PI、IV、EL）

P-I

100元+,

200元/条

100元+,

300元/条

金鹏

I-V

100元+,

200元/条

100元+,

300元/条

EL

100元+,

300元/条

100元+,

500元/条

紫外可见分光光度计

漫反射，积分球

开机费150元，150元一个样品

开机费300元，300元一个样品

特殊条件另议

曲胜春，王智杰，刘孔

荧光光谱仪

散射法

开机费150元，150元一个样品

开机费300元，300元一个样品

特殊条件另议

曲胜春，王智杰，刘孔

太阳能电池I-V测试系统

光电转换效率

开机费300元，150元一个样品

开机费500元，200元一个样品

特殊条件另议

曲胜春，王智杰，刘孔

电化学工作站

阻抗谱

开机费300元，200元一个样品

开机费500元，300元一个样品

特殊条件另议

曲胜春，王智杰，刘孔

四探针测试台

方块电阻，电阻率，电导率，电阻

开机费100

50/每片

开机费150

80/片

特殊条件另议

曲胜春，王智杰，刘孔

偏振调制光谱测试系统(陈涌海)

偏振调制光谱

开机费：300元/次;测试费:400元/点

开机费：300元/次;测试费:800元/点

如需用到皮秒激光器或飞秒激光器等高值设备额外收取设备使用费

陈涌海，刘雨

微区RDS测试系统

微区RDS成像（mapping)

开机费：300元/次; 测试费500元/小时

开机费：300元/次;测试费1000元/小时

特殊条件另议

陈涌海，刘雨

光电流测试系统

光电流测试

开机费：300元/次;测试费:400元/点，光谱测试800元/条谱线

开机费：300元/次; 测试费:800元/点，光谱测试1600元/条谱线

如需用到皮秒激光器、二氧化碳激光器或飞秒激光器等高值设备额外收取设备使用费

陈涌海，刘雨

红外光栅光谱仪（0.8-5μm）

光致/电致荧光谱

开机费300元，室温测试150元/谱线，变温测试200元/谱线

开机费300元，室温测试300元/谱线，变温测试500元/谱线

特殊条件另议

杨涛，吕尊仁

激光参数测试系统

激光器P-I-V曲线及光谱（0.8-2.5μm）

200元/谱线，变温测量400元/谱线

300元/谱线，变温测量600元/谱线

特殊条件另议

杨涛，吕尊仁

傅立叶变换红外光谱仪

PL/EL光谱

室温：60元/谱线+150元/小时设备占用费；低温：60元/谱线+200元/小时设备占用费

室温：80元/谱线+200元/小时设备占用费；低温：80元/谱线+250元/小时设备占用费

特殊条件另议

叶小玲

吸收光谱

光电流谱

室温：60元/谱线+200元/小时设备占用费；低温：60元/谱线+250元/小时设备占用费

室温：80元/谱线+250元/小时设备占用费；低温：80元/谱线+300元/小时设备占用费

特殊条件另议

傅立叶变换中红外光谱仪Bruker V70

透射/吸收谱

室温：60元/谱线+200元/小时设备占用费；低温：60元/谱线+300元/小时设备占用费

室温：80元/谱线+250元/小时设备占用费；低温：80元/谱线+400元/小时设备占用费

另收开机费100元/次

马文全，张艳华，黄建亮

光电流谱

室温：200元/谱线+200元/小时设备占用费；低温：300元/谱线+300元/小时设备占用费

室温：300元/谱线+250元/小时设备占用费；低温：300元/谱线+400元/小时设备占用费

另收开机费100元/次

马文全，张艳华，黄建亮