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半导体材料高端制造与表征平台管理办法

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  1. 为满足科研工作需要,更好地完成承担的国家科研任务,提高实验室仪器设备的开放共享率,促进交流合作,半导体材料科学重点实验室根据科研任务需要,及实验室现有仪器设备资源,成立“半导体材料高端制造与表征平台”,平台由实验室主任负责。

 

  1. “半导体材料高端制造与表征平台”主要的工艺设备有MOCVD材料生长设备,MBE材料生长设备,PECVD, 光刻机,蒸发台,磁控溅射,台阶仪,电化学CV, 光致发光,霍尔测量等。每台设备都有专人负责维护运行, 平台共拥有相关技术工艺人员有50余人, 详细见附件1。

 

  1. 平台的经费管理严格执行《半导体所内部科研协作管理办法》,各项测试加工工艺按平台的收费标准执行,收费标准见附件2。

 

  1. 委托平台进行材料生长或测试的课题,必须与实验室签订科研协作协议,由实验室主任和课题负责人签字生效。测试报告或实验记录必须有实验人签字确认,保证所有测试加工的真实性,合法性和必要性。

 

  1. 所内科研协作转账原则上应在协作完成后一个季度内办理,办理时必须提供:(1) 课题任务书或合同书的封面及其中有相应预算内容的复印件(各2份);

(2)委托测试加工合同或协议(实验室统一模板,一式三份);

(3)实验记录或测试报告复印件二份,实验人签字;

(4)验收单: 课题负责人和验收人签字;

(5)内部收据(实验室统一开具)。

 

本管理办法自2015-7-1开始执行,如有与研究所制定的管理办法不一致时,从研究所办法。

 

 

 

 

 

半导体材料科学重点实验室

2015-7-1